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上海添時科學儀器有限公司

PRODUCT DISPLAY

當前位置:上海添時科學儀器有限公司>>雷博科學儀器>>工業半導體設備>> SH200勻烤膠一體機

勻烤膠一體機

參  考  價:面議
具體成交價以合同協議為準

產品型號:SH200

品       牌:其他品牌

廠商性質:代理商

所  在  地:上海市

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更新時間:2025-03-13 08:38:42瀏覽次數:2283次

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應用領域 化工 旋轉速度范圍 20-5000rpm(可選最大10000rpm
加速度范圍 20-20000rpm/s 轉速精度 ±1rpm
光刻膠嘴數量 ≤4路 勻膠工藝配方 ≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數 控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1% 設備尺寸 1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)
勻烤膠一體機
適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統,根據客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態
高精度伺服控制系統,滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標
可選配置空氣凈化單元(FFU)

勻烤膠一體機

產品介紹

適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝
可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體
配置自動供膠系統,根據客戶工藝選擇供膠方式
觸摸式人機交互界面,實時顯示設備運行狀態
高精度伺服控制系統,滿足勻膠工藝要求
可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能
專業勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標
可選配置空氣凈化單元(FFU)

產品參數

旋轉速度范圍: 20-5000rpm(可選最大10000rpm)
加速度范圍: 20-20000rpm/s
轉速精度:±1rpm
(光刻膠嘴數量:≤4路
勻膠工藝配方:≤ 100組(每組≤ 100步)
熱板參數:控溫范圍 50°℃-200℃溫度均勻性≤±1%
設備尺寸:1600mm(W)*1100mm(D)*1850mm(H)

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